電動CT注液幫浦
對應微細化半導體晶片的下一代電動幫浦。世界首款(注)CT泵的構造開發、低發塵、除泡性好、以簡單的構造實現了高精度。
F-EPT系列F-EPT06A1型
●膜片、波紋管之後，採用了全新構造的定量排出泵
●使用液體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質不可）
| 最大吐出壓力 | 吐出量ml | 吐出. 輸入流量ml/s | |
|
| 0.15MPa | 0.5～6 | 0.1～4 |
F-EPT系列F-EPT10A1型
●膜片、波紋管之後，採用了全新構造的定量排出泵
●使用液體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質不可）
| 最大吐出壓力 | 吐出量ml | 吐出. 輸入流量ml/s | |
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| 0.15MPa | 0.5～10 | 0.1～4 |