電動蛇腹式幫浦
使用方便控制的步徑馬達。
F-EPB系列08型
●易於控制的步進型馬達式幫浦。
●使用流體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質不可）※選定，導入時，請事前聯絡、諮詢本公司
| 最大吐出壓力 | 吐出量ml | 吐出. 輸入流量ml/s | |
|
| 0.2MPa | 8 | 0.1～4 |
F-EPB系列15型
●易於控制的步進型馬達式幫浦。
●使用流體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質不可）※選定，導入時，請事前聯絡、諮詢本公司
| 最大吐出壓力 | 吐出量ml | 吐出. 輸入流量ml/s | |
|
| 0.2MPa | 15 | 0.1～4 |
F-EPB系列15型
●易於控制的步進型馬達式幫浦。
●使用流體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質不可）※選定，導入時，請事前聯絡、諮詢本公司
| 最大吐出壓力 | 吐出量ml | 吐出. 輸入流量ml/s | |
|
| 0.2MPa | 15 | 0.1～4 |
F-EPB系列40型
●易於控制的步進型馬達式幫浦。
●使用流體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質不可）※選定，導入時，請事前聯絡、諮詢本公司
| 最大吐出壓力 | 吐出量ml | 吐出. 輸入流量ml/s | |
|
| 0.2MPa | 40 | 0.1～4 |